干式催化氧化法煙氣脫硫是在催化劑接觸表面上，煙氣中的SO2直接氧化為SO3的干式煙氣脫硫方法。常用的催化劑為V2O5，廣泛用于處理硫酸尾氣，處理電廠鍋爐氣及煉油廠尾氣技術尚未成熟。

干式催化氧化法煙氣脫硫是在催化劑接觸表面上，煙氣中的SO2直接氧化為SO3的干式煙氣脫硫方法。常用的催化劑為V2O5，廣泛用于處理硫酸尾氣，處理電廠鍋爐氣及煉油廠尾氣技術尚未成熟。

反應機理簡單，在釩催化劑表面上，SO2氧化為SO3，須根據既要有較高的轉化率，又要有較快的反應速度的原則來選擇適宜的反應溫度，美國孟山都等公司聯合研究發展的孟山都催化氧化法（MonsantoCat-OX）是氣相催化氧化法的典型工藝。

經高溫電除塵器凈化的煙氣進入置有若干層釩催化劑的轉化器，使煙氣中80～90%的SO2氧化為SO3，經轉化器的煙氣再經省煤器、空氣預熱器冷卻后，在一臺填充塔內用冷硫酸洗滌除去SO3，可得濃度為80%的硫酸。煙氣中殘余的飛灰沉積在催化劑表面，使轉化器阻力增加，需定期取出催化劑清理。